Литографические сканеры — лишь один из многих видов аппаратуры, требуемой для изготовления полупроводниковых элементов. Если передовые разработки, такие как EUV, пока остаются сложными для китайских специалистов, то в более доступных технологических этапах производства микросхем всё чаще применяется оборудование местного производства. В минувшем году его доля на внутреннем рынке Китая достигла 35%, что превысило установленный план.
Источник изображения: AMEC
Как сообщает TrendForce со ссылкой на китайские медиа, изначально власти страны ставили задачу увеличить использование отечественного оборудования при выпуске чипов до 30% по результатам 2025 года, однако фактический показатель оказался на пять процентных пунктов выше. Ещё в 2024 году он не поднимался выше 25%.
В сфере аппаратуры для травления кремниевых пластин и нанесения тонких плёнок доля китайских решений уже преодолела отметку в 40%. Более того, опытный образец установки для травления пластин с 5-нм чипами в настоящее время проходит апробацию на одной из производственных линий тайваньской компании TSMC — мирового лидера в области контрактного изготовления полупроводников.
Технологические печи от Naura составляют свыше 60% специализированного оборудования, используемого китайской компанией SMIC при выпуске 28-нм чипов. На производственных линиях YMTC, выпускающих память типа 3D NAND, доля аппаратуры Piotech для нанесения химических покрытий методом плазменного осаждения увеличилась вдвое — с 15% до 30%. Оборудование для очистки пластин от ACM Research на мощностях Hua Hong по производству 28-нм продукции сейчас задействовано более чем на 90%.
К сожалению, в области контрольно-измерительных систем и литографических сканеров уровень импортозамещения в китайской полупроводниковой отрасли пока не превышает 25% и 18% соответственно. Однако стоит отметить, что в 2022 году эти значения составляли лишь 10% и 6%, что указывает на существенный прогресс.
Объёмы закупок китайского оборудования для изготовления полупроводников за год увеличились на 80% в стоимостном выражении, а компания Naura, например, уже обеспечена контрактами на его поставку до начала весны будущего года. Власти Китая теперь предписывают, чтобы все новые линии по выпуску чипов укомплектовывались местной техникой как минимум наполовину. Это условие даже сдерживает скорость наращивания мощностей, поскольку отечественного оборудования на всех производителей не хватает. Приобретение местного оборудования в Китае поддерживается государственными субсидиями — по такой программе в прошлом году было оформлено 421 заказ на общую сумму 122 миллиона долларов.
