Государство направило 54,5 миллиарда рублей на создание центров по внедрению технологий и материалов для микроэлектронной промышленности. Эти объекты будут построены в Зеленограде к 2028 году и в Санкт-Петербурге к 2027 году.
По данным CNews, на финансирование центров внедрения в сфере микроэлектроники было выделено 54,5 млрд рублей. Планируется организовать два таких центра в Зеленограде.
Согласно материалам презентации Минпромторга, на сооружение «Базового центра» предусмотрено 50 млрд рублей. Его площадь достигнет 9 тысяч квадратных метров. Центр будет специализироваться на микроэлектронике и силовой электронике, используя технологические нормы 250-90 нанометров на кремниевых пластинах диаметром 200 мм. Запуск объекта намечен на 2028 год.
Второй центр, именуемый «Стартовый», будет функционировать на площадях Национального исследовательского университета «Московский институт электронной техники» (НИУ МИЭТ), также расположенного в Зеленограде. Согласно документам министерства, на его реализацию выделено 4,5 млрд рублей.
Его деятельность также будет сосредоточена на силовой и микроэлектронике, но на пластинах диаметром 100-150 мм с топологическими нормами свыше 180 нм. Площадь составит 3 тысячи квадратных метров, а ввод в эксплуатацию запланирован на 2028 год.
Третий центр, «СВЧ-электроники», предполагается открыть на базе Физико-технического института имени Иоффе в Санкт-Петербурге. Прямое финансирование для этого проекта не выделяется. Центр будет работать с пластинами 100-150 мм по нормам более 350 нм. Его площадь составит 0,5 тысячи квадратных метров, а запуск ожидается в 2027 году.
Как сообщил CNews источник, близкий к проекту, задача таких центров — доводить до стадии серийного производства результаты опытно-конструкторских разработок в области отечественного оборудования и материалов для микроэлектроники.
Обычно под терминами «полигон» или «лаборатория» подразумевается тестовая производственная линия, где можно проверять работу отдельных элементов линии, а также разрабатывать или тестировать технологические процессы, как пояснял автор Telegram-канала RUSmicro Алексей Бойко.
На подобных полигонах возможно тестирование, например, фотолитографических установок, анализаторов цепей, степперов и иного оборудования, входящего в технологические цепочки производств микро- и СВЧ-электроники, как объяснял «Коммерсанту» в конце июля 2023 года руководитель консорциума «Базис» Арсений Брыкин.
Такие площадки, как полигоны, выгодны производителям, поскольку снижают риски и сокращают сроки создания новых производств, особенно для тех, кто осваивает новые технологии, считает доцент Донского государственного технического университета Алексей Попов. Впрочем, он допускает, что создание полигонов под государственным контролем или на государственные средства может замедлить процесс. При грамотной организации запуск полигонов окажет положительный эффект, так как позволит сконцентрировать в одном месте комплекс необходимого испытательного оборудования с возможностью коллективного доступа к нему, отметил Бойко.
С 2023 года Минпромторг регулярно размещает тендеры на такие работы, и они уже ведутся. В результате на российских заводах микроэлектроники к 2032 году появится 122 отечественных аппарата для изготовления микросхем. В их число входят системы для нанесения топологического изображения на пластину, оборудование для проверки рисунка фотошаблонов, кластеры плазмохимического травления, установки для выращивания кристаллов германия и другие.
Планируется, что к 2030 году около 70% оборудования и материалов, используемых в микроэлектронном производстве, будут замещены отечественными аналогами. Для разработки стратегии были определены 20 технологических направлений, среди которых — микроэлектроника (от 180 до 28 нм), СВЧ-электроника, фотоника, силовая электроника, изготовление фотошаблонов, сборка электронных компонентов и модулей, производство пассивных элементов и другие.
Тем не менее, накануне CNews сообщал о недостатке финансирования для освоения нового оборудования. При этом Минпромторг утверждает, что не намерен отказываться от каких-либо работ, хотя часть из них временно перенесена из-за нехватки средств.
