Дочерняя компания «Элемента» создаёт микроскоп для выявления изъянов в материалах. Стоимость устройства разработчики намерены установить на уровне китайских конкурентов, а реализацию вести не только внутри страны, но и на международной арене.
Как стало известно CNews, фирма «Нанотроника», входящая в микроэлектронный холдинг «Элемент», работает над созданием растрового электронного микроскопа (РЭМ) для исследования дефектов в разнообразных материалах — от металлов и сплавов до полимеров и полупроводниковых элементов.
Подобные приборы относятся к категории аналитической аппаратуры. Как пояснил представитель «Нанотроники», в настоящее время Россия целиком зависит от зарубежных поставок такого оборудования.
«Нанотроника» уже создала прототип микроскопа и проводит его тестирование. Согласно материалам презентации компании, выход готового продукта намечен на 2026–2027 годы. «Накопленный технологический запас и созданная база позволяют удовлетворить потребности российских производителей микроэлектроники в аналитической аппаратуре на ближайшие пять–семь лет», — подчеркнул представитель фирмы.
Финансирование проекта осуществляется за счёт средств «Элемента». «Мы рассчитываем, что итоговая цена для покупателя будет сопоставима с популярными китайскими аналогами», — сообщил CNews представитель «Нанотроники».
«Мы видим свою нишу в замещении импортных установок начального и среднего уровня, которые сегодня особенно востребованы в университетах, отраслевых научно-исследовательских институтах и на производственных предприятиях для контроля качества, — добавили в компании. — Наша цель — занять существенную долю этого сегмента, предлагая не просто аппарат, а комплексное техническое сопровождение и сервисное обслуживание».
«Нанотроника» намерена поставлять свои приборы не только в России, но и за границу, в первую очередь в страны СНГ.
Прототип растрового электронного микроскопа «Нанотроники» включает электронно-оптическую колонну, которая формирует электронный пучок, сканирует исследуемую область, а также регистрирует электроны и формирует измерительные сигналы.
Кроме того, установка оснащена вакуумной системой, создающей и поддерживающей вакуум, а также измеряющей давление во всех основных точках тракта.
Никита Лопатин, Setl Group: Как строители контролируют качество с помощью лазерного сканирования
Также в состав прибора входят технологический блок и система загрузки-выгрузки пластин. Например, прототип содержит вакуумный стол для перемещения и позиционирования пластины, а также камеру для их фиксации. Ещё одним компонентом установки является система АСУ (управления модулями и компонентами), которая обрабатывает измерительные сигналы.
Конструкция установки предусматривает применение разных видов катодов — вольфрамовых и на основе гексаборида лантана, что снизит эксплуатационные расходы, одновременно позволяя достигать предельного разрешения и надежности, подчеркнули в компании «Нанотроника».
Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) применяется для диагностики дефектов благодаря возможности получать высокодетализированные изображения поверхности материалов и данные об их химическом составе. С его помощью можно обнаруживать поверхностные нарушения, выполнять количественный элементный анализ и изучать воздействие внешних факторов (температуры, механических напряжений) на материал.
СЭМ формирует подробные трёхмерные изображения поверхности образцов, где отчётливо различимы трещины, поры, царапины и иные поверхностные несовершенства. Он также даёт возможность анализировать микроструктуру материалов в наномасштабе, что играет ключевую роль в выявлении источников дефектов.
Данное оборудование может быть задействовано для исследования полупроводниковых устройств.
