В период руководства бывшего гендиректора Патрика Гелсингера корпорация Intel успела превратиться в ключевого заказчика новейших литографических установок ASML с технологией высокой апертуры (High-NA EUV). Южнокорейский гигант Samsung намерен в ближайшем будущем приобрести две такие системы у голландского производителя, причём первая из них будет поставлена до завершения текущего года.
Источник изображения: ASML
Соответствующую информацию распространило южнокорейское издание The Korea Economic Daily. До конца этого года Samsung ожидает получения от ASML прогрессивной литографической системы Twinscan EXE:5200B, предназначенной для опытов с высокоапертурной литографией. В серийном выпуске подобное оборудование откроет возможность формирования чипов с нормами менее 2 нанометров.
TSMC, следуя примеру Intel, тестирует аналогичные установки в экспериментальном режиме, тогда как SK hynix в прошлом месяце уже выполнила монтаж системы для последующего внедрения в массовое производство полупроводников. Samsung намерена задействовать литографический сканер при освоении 2-нанометровых технологий в рамках контрактного производства. В частности, оборудование может быть использовано при выпуске мобильных процессоров Exynos 2600 и ИИ-чипов Tesla нового поколения. Помимо этого, компания рассчитывает к 2027 году организовать выпуск памяти DRAM с транзисторами вертикальной структуры VCT, которая, по оценкам, обеспечит оптимальное сочетание скорости работы и энергоэффективности.
Приобретение двух систем Twinscan EXE:5200B обойдётся Samsung приблизительно в 773 млн долларов. Новейшее оборудование позволит формировать чипы с элементами в 1,7 раза мельче по сравнению с существующими EUV-установками. Если TSMC планирует использовать такие системы в рамках 1,4-нм процесса при серийном выпуске, то Intel намерена внедрить их для производства конкурентоспособных чипов по технологии 14A. Правда, для реализации этих планов компании потребуется привлечь значительное число заказчиков для окупаемости инвестиций. Массовый выпуск чипов по стандарту Intel 14A начнётся не раньше 2028 года.
